VACOM傳感器

VACOM傳感器產品概覽

電容式薄膜傳感器的特點是壓力測量精度高。在腐蝕性環境中使用傳感器與在不同氣體中出現不同成分時的使用一樣自然。單個傳感器已經覆蓋了四個十年的壓力范圍，這意味著即使在高真空下也可以實現的壓力測量。集成的 RS232 接口和模擬輸出可在集成到現有系統、流程和自動決方案時實現的兼容性。

根據皮拉尼原理，熱損失傳感器涵蓋從大氣壓到高真空的整個壓力范圍。它們適用于化學工業、真空冶金、電子束焊接和氣相沉積工藝。

相對壓力計

測量原理 波登管壓力表 -

確定彈性管的變形

波登管在較高的壓力范圍內（直至大氣壓），作用在選擇的表面上的力會導致其顯著變形。由于這大約與壓力成正比（胡克定律），因此其測量值可用于直接說明當前壓力。

VACOM傳感器在的情況下 - 例如 B. 在波登管中——金屬環的變形直接轉移到與校準刻度相連的指針上。在這種類型的機械壓力計中，測量相對壓力是因為刻度上的值（或 1 毫巴）表示大氣壓力。由于這可能會波動幾十毫巴，因此壓力測量會受到很大的系統誤差。

壓電

膜片真空計的測量原理- 使用壓阻法確定彈性膜片的撓度

壓阻式薄膜真空計可實現的精度。它們的工作方式與電容式隔膜真空計類似：壓力測量基于對帶有壓阻元件的隔膜機械變形的測量。壓電元件的電阻率隨著膜片的偏轉而變化，從而提供有關膜片兩側當前壓差的信息。壓力測定的精度通常約為滿量程的 .，用的測量范圍為 3 個壓力十進制。

市場上可用的壓電真空計的終偏轉為 13 至 15 毫巴（略高于氣壓）。和溫度穩定性以及分辨率比電容式薄膜真空計稍差，但壓阻式真空計要便宜得多。

Bourdon 是一種相對壓力計。因此，在顯示壓力時，會考慮此時存在的大氣壓力

VACOM膜波紋管
VACOM真空螺絲
VACOM真空閥
VACOM離子吸氣泵
VACOM真空阱

VACOM過濾器
VACOM真空室

VACOM真空計

VACOM視鏡